
真空泵是真空获得设备中的首要品种,用于获得、改进和(或)保持真空环境。真空泵能够界说为:使用机械、物理、化学的办法对被抽容器进行抽气而获得真空的器材或设备。真空技能首要是树立低于大气压力的物理环境,以及在此中进行工艺制作、物理丈量和科学试验等所需的技能获得的真空度能够分为四档。
依照作业原理的不同,真空泵分为气体传输泵和气体粘合或捕集泵两大类,其间气体传输泵的商场规划占比约为65%。其间气体传输泵分类方法又多种多样,具体状况如下:
泵广泛使用于工业、农业及日子范畴的通用机械,泵职业不只受相关法律法规的维护和标准,一起受相关工业政策的引导和支撑。与泵职业相关的法律法规有:《中华人民共和国质量法》《中华人民共和国水法》《中华人民共和国农业法》《中华人民共和国农业技能推广法》《中华人民共和国农业机械化促进法》等。
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从真空泵工业链来看,上游是要害零部件首要包含导管、保温罩和加热器;下流真空泵被广泛使用于制药、化工、食物、电子等职业。
从产值上来看,近年来我国真空泵产值继续下降。据我国通用机械协会数据,2020年我国线%。
从全球线年半导体范畴是规划最大的下流商场,占比37%,规划约17.3亿欧元。2020年以来真空泵职业结构转型趋势显着,干式螺杆真空泵的呈现代替了大部分油螺杆真空泵,在制药、医疗器械、半导体职业均有使用。
真空泵为光伏设备的要害部件之一。光伏电池首要分为四大流程:硅料制程、硅片制程、电池片制程和组件制程。真空泵首要使用于硅片拉晶,电池片高方阻分散(低压分散炉)和PVD、PECVD镀膜工艺,组件层压环节等。设备中的真空安稳性是工艺安稳的要害技能之一,以电池片镀膜为例,真空镀膜技能的长处有:薄膜厚度可进行操控,以制备具有各种不同功用的功用性薄膜;环境清洁,薄膜不易遭到污染,因而可获得细密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。
从硅片线年全球硅片环节线亿元,其间新增装机商场10.5/10.4亿元,修理商场2.8/3.8亿元;从电池片线年电池片环节线亿元,其间新增装机商场8.7/5.3亿元,修理商场5.1/7.2亿元,修理和替换需求将奉献更多商场增量。
干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备,使用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层堆积(ALD)、封装、测验等清洁或苛刻制程。从商场空间来看,2022年全球半导体用干式线%。
“线”。从进出口贸易来看,2021年我国线.5万台,出口金额为4.22亿美元。
从进口金额区域散布状况来看,我国首要向日本、德国、韩国进口高精密真空泵,三个区域进口金额占比分别为29.19%、19.08%、18.34%。
现在真空泵首要商场由欧洲、日本企业主导,分别是Edward(被Atlas收买,英国)、Ebara(荏原,日本)、Pfeiffer Vacuum(普发,德国)、Kashiyama(坚山工业,日本),国内相关范畴企业则包含中科仪、汉钟精机等。2019年全球真空商场三大公司占有全球商场份额88%,职业集中度较高。
从光伏真空泵商场竞赛格式来看,国内厂商汉钟精机占有较大商场份额。据统计,2021年全球光伏真空泵商场竞赛各句中,汉钟精机商场占比73.88%,其间拉晶环节市占率较高,电池片环节仍有必定提高空间。
从半导体真空泵商场竞赛格式来看,海外厂商占有95%的商场份额,首要由Atlas(2021年半导体线亿元)和Pfeiffer(2021年半导体线亿元)占有,国内厂商商场份额不到5%,现在汉钟精机已在联电、力积电等获得打破,未来有较大的国产代替空间。
六、线、光伏装机继续高增加,带动光伏真空泵商场需求。依据CPIA数据,2021年全球光伏新增装机170GW,创前史新高。其间,我国光伏新增装机54.88GW,同比增加13.9%;欧盟新增装机25.9GW,同比增加近34%;美国估计新增装机近26.8GW,预期同比增加约39.6%;印度新增装机11.89GW,同比增加218%左右。2022年,在光伏发电本钱继续下降推进下,全球光伏新增装机仍将快速增加,保存状况下估计2025年全球/我国新增装机量为270/90GW。
2、跟着全球半导体商场的稳步增加,干式真空泵在半导体范畴的使用商场空间不断增加。干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备,使用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层堆积(ALD)、封装、测验等清洁或苛刻制程。据统计,2021年全球晶圆产能2.43亿片(折算成8英寸),增加8.5%,估计2022年将增加8.7%,达2.64亿片,新增晶圆开工量创前史新高,产能使用率有望保持在93%的高水平。
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