分子泵是依据动量传递原理，在变频电源驱动电机的带动下高速旋转，在分子流区域内，气体分子与高速滚动的叶片外表磕碰，动量传递给气体分子，使部分气体分子发生定向活动而被排出泵外，然后到达抽气的意图。分子泵归于动量真空泵，是通过使分子定向活动而被排出泵外。

  分子泵运用于高真空和超高线Pa)。分子泵作为高、超高真空泵种无法在大气压强下直接运用，其正常作业需求必定的发动压强(分子泵发动压强一般为0.1-100Pa)，一般运用时需求衔接低真空泵种作为前级预抽真空泵。分子泵机组是以分子泵为主泵，以旋片泵、涡旋泵为前级泵串联而成的组合真空设备。分子泵机组选用旋片泵、涡旋泵、干泵等作为前级预抽泵，分子泵作业后能敏捷使密闭空间取得高真空。

  全球及我国分子泵职业开展进程：中科科仪是国内分子泵技能引领者和规范起草者

  萌发阶段(1912-1953年)：1912年，德国人W.Gaede发明晰世界上榜首台分子泵，它的转子直径为50m m，转子上切有8个尺度不同的槽，转速为12 000r/min，抽速约为1.5L/s。这种泵的作业原理与现代分子泵的作业原理共同，但因为毛病多很快被筛选，未能遍及。1926年，M.siegbahn在瑞典的大学试验室中开发了一种盘型分子泵，其结构与现代牵引式分子泵类似，泵体上开有螺旋槽，转子为一圆盘。1939年，LEYBOLD公司出产制作过两台分子泵相关产品。前期的分子泵均为牵引式分子泵，这种泵的体积大，抽速小，空隙小，毛病多，运用时遭到许多约束，所以只能在一些特别范畴运用，未能遍及。

  起步阶段(1954-1977年)：1954年Willi Becker博士开端研制涡轮分子泵，1957年，德国PFEIFFER公司的W.Becker发明晰一种新式的分子泵，命名为涡轮分子泵。其结构为卧式，泵腔内装有动、静叶列，气体由坐落泵中心的吸气口进入，经抽气通道流至泵体两边，被叶列紧缩终究由排气口排出。该时期1964年我国涡轮分子泵取得研制开展。1966年法国公司开发了一种立式涡轮分子泵，可是全体该阶段涡轮分子泵的研制处在基本原理试验阶段。在1976年德国莱宝无触摸磁悬浮轴承分子泵，可是因为其技能并不老练、事端多，本钱高，未能遍及。

  开展阶段(1978-1990年)：20世纪80年代中期，日本一些真空设备制作公司，在德国的磁悬浮技能基础上进行改善，开宣布结构更为合理，功能更为先进的内环式旋转磁悬浮涡轮分子泵。1983年日本研制内环式磁悬浮分子泵，80年代后，分子泵打破以科研机构为首要的需求范畴，在半导体等工业工业逐渐取得运用。并在该阶段产品功能得以不断优化。

  老练阶段(21世纪初至今)：现代分子泵向智能、灵敏、高效的方向开展，并呈现了多种新式分子泵，在传统分子泵基础上，可完成无触摸支撑、高效率、高寿数的磁悬浮分子泵等产品取得广泛运用。而且分子泵产品在半导体、工业、仪器制作及真空范畴逐渐取得广泛运用。

  我国分子泵的研讨和制作，起始于20世纪60年代。1964年，上海真空泵厂成功研制了榜首台卧式分子泵FW-140，因选用皮带、齿轮二级增速，体积较为粗笨，且存在发热等问题，未得到运用推行。1977年，我国科学院科学仪器厂(简称中科科仪)研制成功我国榜首台立式涡轮分子泵FB450，正式敞开了国内分子泵研制的进程。尔后，中科科仪连续开发系列油光滑、脂光滑和磁悬浮分子泵产品，广泛运用于科研、工业进程、真空镀膜、半导体制作等多个职业。中科科仪是国内分子泵技能引领者和规范起草者，是国内分子泵最大出产供货商。

  2017年，我国分子泵商场规模为10.00亿元，2020年，我国分子泵商场规模到达13.39亿元，2017-2020年我国分子泵商场规模年均复合增速为10.21%。

  分子泵首要在前级泵完成发动压强后才进行抽气，与低真空泵合作进行运用，运用于外表物理和质谱类科研仪器，离子注入和刻蚀等半导体前道工艺配备，ITO、AR、AF和Low-E等工业进程，空间环境模拟、高能物理、低温超导等范畴。

  我国分子泵职业竞赛格式：国产化代替趋势显着，中科科仪跻身榜首队伍、商场占有率位列榜首

  从全体来看，现在，我国分子泵商场的竞赛较为剧烈，首要形成了三个竞赛队伍。榜首队伍是以欧美发达国家、日本优势厂商为代表，以国外企业爱德华真空、普发真空、日本岛津及国内优势企业中科科仪几家企业出售额超越5000万元，成为我国分子泵商场榜首队伍竞赛企业，其间中科科仪依托下流各个范畴需求商场的认可，成为该队伍仅有的我国企业，商场份额居我国分子泵商场首位，竞赛优势不断凸显;第二队伍是以德国莱宝、美国安捷伦及国内世纪玖泰为代表，几个企业国内分子泵出售额在1000-5000万之间;第三队伍是以飞旋科技、泰岳恒、四海祥云、北京帕纳等国内企业为代表，其在出售额缺乏千万。

  详细看，阿特拉斯·科普柯产品早在20世纪20年代就以从欧洲进口的方法初次进入我国商场。德国普发为也早在2007年就在我国建立分公司，担任我国大陆、香港、澳门区域的出售及售后服务作业。受国外分子泵产品长时间在国内商场的开展，国内科研机构及下流需求企业对国外优势品牌的产品功能优势及品牌认知度较高，国外优势企业在全球及我国商场的占有率处于肯定竞赛优势位置。近年来，跟着我国制作业开展的兴起，高端配备职业开展促进以中科科仪为代表的国内企业快速开展，技能研制及立异才能提高，品牌认知及商场需求不断添加，现已成功跻身我国分子泵供给企业榜首队伍，在高端配备国产化开展的推动下，竞赛力有望进一步提高。

  国内优势企业中科科仪分子泵事务范畴无论是在出售额仍是在出售量范畴国内商场份额均位居首位。

  详细剖析，从销量看我国分子泵优势企业中科科仪分子泵销量在我国商场占居首位，2020年公司分子泵出售量约4000台，出售额1.52亿元，出售量占比约为35.71%。从出售额看，虽受国外进口产品价格遍及偏高的影响，中科科仪依托国内商场各需求范畴广泛的认可，出售额占比约为28.68%，仍位居国内商场份额头部位置。

  由此可见，中科科仪分子泵产品在国内商场的认可度及认知度较高，中科科仪有望依托公司高功能产品、立异性技能及高性价比产品引领国内分子泵职业开展，国内企业进口代替成为趋势。

  依照轴承特性分类中从轴承特性上区别，分子泵大致可分为油光滑分子泵、脂光滑分子泵及磁悬浮分子泵三类，磁悬浮分子泵是运用磁力效果将转子悬浮于空中使转子和定子无触摸作业，与油光滑和脂光滑分子泵不同，具有可完成完全无油化、轴承的寿数长、转子转速高、振荡与噪音低、安全性高、可任意视点装置等产品优势，是现阶段分子泵技能及产品立异的首要方向。

  磁悬浮分子泵技能触及多学科穿插协同立异，具有极高的技能和出产门槛，现在国内外真实能够完成深度研讨及产品研制出产的团队并不多。国外磁悬浮分子泵出产企业以德国普发、英国爱德华、日本大阪真空及德国莱宝企业为代表，其间德国普发和英国爱德华磁悬浮分子泵产品竞赛优势显着。

  2011年我国企业中科科仪研制出产国内首台磁悬浮分子泵产品，填补了国内涵该范畴的空白，现在国产化磁悬浮分子泵和国外先进产品比较，在技能功能指标上的不同现已不大，可是国内产品处于起步阶段，职业运用尤其是高端范畴运用占比有待提高。全体上从磁悬浮分子泵的企业竞赛看，国外企业运用优势显着，国内企业竞赛力提高，距离在逐渐缩小。

  影响真空体系极限压力的首要因素是所运用高真空泵的参数。可是真空体系的特性不只由高真空泵决议，在很大程度上也由前级泵和整个泵组内部的兼容性决议。

  前瞻工业研讨院选取我国磁悬浮分子泵优势企业中科科仪、飞旋科技及德国普发(Pfeiffer)、英国爱德华(Edwards)及日本大阪线家磁悬浮分子泵国外优势企业进气口法兰DN250规范磁悬浮分子泵产品做技能比照剖析。

  在磁悬浮分子泵产品范畴，将国外企业优势产品与国内企业优势产品比较，德国Pfeiffer、德国Leybold、英国Edwards、日本大阪及Shimadzu国外企业进气口法兰DN250规范磁悬浮分子泵产品与我国中科科仪分子泵产品比较发现，中科科仪作为国内分子泵龙头企业，通过多年的研制、立异及技能堆集，其产品功能现已能够与国外企业同类优势产品比美，国内企业产品功能及高性价比竞赛优势凸显。

  跟着半导体工业国产化进程(国产半导体FAB厂和设备商的增加)不断推动，第三代半导体工业逆向超车、5G基站等新基建配套不断完善和新能源锂电池、光伏设备需求增加，2021-2026年，估计我国分子泵职业的商场规模年均复合增速为15%，到2026年，我国分子泵职业商场规模将到达31.0亿元。

  依据海关总署的数据，2020年我国线亿美元;依据第三方交易大数据渠道的数据，2020年我国独自的分子泵进口金额到达3.06亿元左右，在进口代替趋势显着的情况下，以中科科仪为代表的国内企业在分子泵范畴完成国产化代替的空间依然较大。

  以上数据参阅前瞻工业研讨院《我国真空泵制作职业深度调研与出资猜测剖析陈述》，一起前瞻工业研讨院还供给工业大数据、工业研讨、工业链咨询、工业图谱、工业规划、园区规划、工业招商引资、IPO募投可研、IPO事务与技能编撰、IPO作业草稿咨询等解决方案。